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新型双动镜干涉仪制造技术
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文档序号:2549513
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一种新型双动镜干涉仪由一个分束器、两个固定的平面反射镜、和被一个刚性结构背靠背地平行固定在一起作为一个单独的运动部件的第一动镜和第二动镜。第一动镜、第二动镜、分束器之间相互平行,它们与入射光束之间的夹角均为30度;第一平面镜和入射光束相互平...
该专利属于杨庆华所有,仅供学习研究参考,未经过杨庆华授权不得商用。
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