下载一种MICRO LED结构及其制作方法的技术资料

文档序号:25484426

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种MICRO LED结构及其制作方法,包括如下步骤:1)提供生长基板;于生长基板表面形成半导体发光材料层;2)于芯片区域内的半导体发光材料层内形成环形沟槽;3)于环形沟槽的底部及侧壁形成电隔离层;4)于发光区域内的半导体发光材料...
该专利属于上海芯元基半导体科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海芯元基半导体科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。