下载一种厚膜热流计的共形制备方法以及产品的技术资料

文档序号:25476729

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本发明公开了一种厚膜热流计的共形制备方法,属于厚膜传感器领域,包括:S1在基体待测部位制备凹槽,凹槽用于提供制备热阻层的场所,S2在凹槽中制备热阻层,S3制备绝缘层,S4在绝缘层上制备热电正极、热电负极和热结点,形成热电堆图形,S5制备表面...
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