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本发明公开了一种柔性聚合物封闭膜仿生纤毛微传感器及其制备方法，涉及微机电技术领域，包括纤毛、柔性膜、SOI硅‑玻璃电容结构，SOI硅‑玻璃电容结构包括上层硅结构(Z向及转角检测电极、公共电极及支撑层)、中间层硅结构(动梳齿电极的检验质量块、...
该专利属于上海交通大学所有，仅供学习研究参考，未经过上海交通大学授权不得商用。

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