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一种微电子机械系统传感器的大规模生产方法技术方案
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文档序号:25476565
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本发明公开了一种微电子机械系统传感器的大规模生产方法,包括整平衬底;利用电镀或物理气相沉积制备具有垂直磁各向异性的底部硬磁体;用蚀刻法清除可蚀刻材料而制备中空管的,以容纳含硬磁材料的悬浮体;在临时可蚀刻材料中制备具有垂直磁各向异性的含硬磁材...
该专利属于万渡江;易舸所有,仅供学习研究参考,未经过万渡江;易舸授权不得商用。
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