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本实用新型涉及一种可定量及可控制蒸气浓度的鼓泡装置。所述装置包括依次连接的鼓泡罐(1)、定量系统(4)、真空系统(5)和反应器(6)，及连接上述设备的管道。工作时，载气(3)顺序通入第一质量流量计/控制器(41)、第一阀门(42)、进气管(...
该专利属于中国科学技术大学所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学技术大学授权不得商用。

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