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武汉华星光电技术有限公司
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LTPS TFT基板的制造方法及LTPS TFT基板技术
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文档序号:25444215
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本申请实施例提供一种LTPS TFT基板的制造方法及LTPS TFT基板,本申请中采用酸性试剂刻蚀所述栅极金属层的表面,形成凹凸不平的表面,在该凹凸不平的表面上涂布光阻图案,增加光阻图案与栅极金属层的附着力,采用酸性试剂刻蚀有光阻图案的栅极...
该专利属于武汉华星光电技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过武汉华星光电技术有限公司授权不得商用。
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