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本申请涉及一种对信号从晶片反射后的角驱动变化灵敏度降低的光纤耦合测量系统。公开一种具有OAP镜准直仪的光学系统，其具有外壳、位于所述外壳内且具有光轴、折叠平面和焦点的OAP镜。光纤线缆耦合到所述外壳且具有第一和第二光纤，所述第一和第二光纤各...
该专利属于真实仪器公司所有，仅供学习研究参考，未经过真实仪器公司授权不得商用。

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