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本实用新型涉及半导体制造装置技术领域，尤其是一种半导体制造用废料回收装置，针对现有的效率低的问题，现提出如下方案，其包括隔绝箱，所述隔绝箱的顶部固定连接有工作箱，所述工作箱的上侧固定连接有进料管，所述进料管的另一端通过旋转接头转动连接有与隔...
该专利属于襄阳斯迈克电气有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过襄阳斯迈克电气有限公司授权不得商用。

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