专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
硅晶体有限公司
>
块状SiC单晶的生成方法及其生长装置制造方法及图纸
>技术资料下载
下载块状SiC单晶的生成方法及其生长装置的技术资料
文档序号:25431330
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
用于生成至少一个块状SiC单晶(2)的方法,其中,将至少一个SiC籽晶(8)放置在生长坩埚(3)的晶体生长区域(5)中;并且将SiC源材料(6)引入到SiC储层区域(4),并且通过沉积从SiC生长气相中,生长出块状SiC单晶(2)。生长坩埚...
该专利属于硅晶体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过硅晶体有限公司授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。