下载III族氮化物晶体的制造方法及晶种基板的技术资料

文档序号:25431328

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本发明以提供不易产生裂开或裂缝的III族氮化物晶体的制造方法及晶种基板为技术问题。为了解决上述技术问题,本发明的III族氮化物晶体的制造方法包括:籽晶准备工序,在基板之上配置多个III族氮化物的晶体作为多个籽晶;晶体生长工序,在包含氮的环境...
该专利属于松下电器产业株式会社;国立大学法人大阪大学所有,仅供学习研究参考,未经过松下电器产业株式会社;国立大学法人大阪大学授权不得商用。

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