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本发明涉及真空镀膜设备技术领域，尤其是指一种涂层机的机芯构造，其包括真空容器、离子发生机构和磁性弯管机构，离子发生机构安装于真空内腔并用于产生离子，磁性弯管机构包括基座、真空弯管件、电磁线圈、靶材液冷固定组件和引弧组件，电磁线圈绕设于真空弯...
该专利属于广东鼎泰机器人科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广东鼎泰机器人科技有限公司授权不得商用。

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