温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明在常规制备工艺上进行改进，提供一种铬涂层制备装置及方法。本发明的涂层制备装置中，样品固定在样品支撑体上，样品支撑体能够围绕其自身轴心旋转，同时随着样品转盘围绕样品转盘轴心公转，公转及自转的速度可分别独立控制；该装置能够保证涂层的均匀性...
该专利属于中国工程物理研究院核物理与化学研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国工程物理研究院核物理与化学研究所授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。