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本发明提供了一种铝钪合金靶材的及其制备方法和应用及真空自耗电弧炉，涉及靶材制备技术领域。本发明提供的铝钪合金靶材的制备方法，包括以下步骤：将铝源和钪源混合后进行压制和组焊，将所得组焊电极在水冷铜结晶器中进行两次真空电弧熔炼；然后进行重复热机...
该专利属于福建阿石创新材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过福建阿石创新材料股份有限公司授权不得商用。

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