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本实用新型公开一种平面度调整机构，包括底座、通过若干组调节组件安装于底座上的调节板和固定于所述调节板上的真空平台，底座上凸设有一球面凸台，调节板的下方凹设有与球面凸台配合的球形凹槽，底座与调节板之间具有间隙，每一组调节组件均包括一个与底座和...
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