专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
株式会社荏原制作所
>
基板处理装置及基板处理系统制造方法及图纸
>技术资料下载
下载基板处理装置及基板处理系统的技术资料
文档序号:25402930
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明是改善使用CARE法的基板处理装置。一种基板处理装置,用于在处理液的存在下使基板与催化剂接触而研磨基板的被处理区域,具备:基板保持部,被构成为保持基板;催化剂保持部,被构成为保持催化剂;以及驱动部,被构成为在基板的被处理区域与催化剂接...
该专利属于株式会社荏原制作所所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社荏原制作所授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。