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本发明公开了一种具有蝶形振动薄膜的微机电压电式超声波换能器。换能器的结构包括基底、弹性结构层、下电极、压电层和上电极。换能器工作原理是利用正、逆压电效应实现机械能到电能或电能到机械能的转换。本发明在弹性结构层采用锚端结构，将振动薄膜的外形设...
该专利属于浙江大学所有，仅供学习研究参考，未经过浙江大学授权不得商用。

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