下载一种样品搬运机构的技术资料

文档序号:25357830

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本实用新型提供一种样品搬运机构,属于超高真空样品传递技术领域,该搬运机构包括样品台、样品底座、抓手。样品台包括用于放置样品的平台和与平台底面固定连接的支架,支架由若干弹片围成圆形或方形,若干弹片内部设有一圈向外凸起的凹槽,样品底座上设有可插...
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