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公开一种用于在衬底上沉积铪镧氧化物膜的方法，其通过反应室中的循环沉积进行。所述方法可包括：利用循环沉积工艺的第一子循环在所述衬底上沉积氧化铪膜，和利用循环沉积工艺的第二子循环沉积氧化镧膜。...
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