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本发明提供一种离子束电流测定装置及计算方法、试样制成装置。不扰乱离子源内的离子化状态地计算出离子束电流值。本发明的一个方式具备：高压施加电路，其基于电压条件，向离子源的阳极与阴极之间施加电压来向阳极供给输出电流；气体流量调整机构，其调整向离...
该专利属于日本电子株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过日本电子株式会社授权不得商用。

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