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流量传感器。流量传感器（１）具有耐蚀性金属膜片、在金属膜片的一个面上形成的绝缘膜、以及在该绝缘膜上形成的流量测量用的传感器，且金属膜片的另一个面与被测流体接触，在形成传感器（２５）的绝缘膜（１２２）和金属膜片之间隔着具有该绝缘膜（１２２）的...
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