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文档序号:2534514
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在包含流速传感器(24)的流动通道(12)的上游侧布置有整流模块(60)。所述整流模块(60)包括网元件(64)和环形隔离物(66),每个所述网元件都具有多个圆形小孔(62),其中所述网元件(64)和隔离物(66)沿轴向方向交替堆叠并且通过...
该专利属于SMC株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过SMC株式会社授权不得商用。
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