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基于采样函数的平行平板光学参数的测量方法技术
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文档序号:25344444
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本发明公开了一种基于采样函数的平行平板光学参数的测量方法,首先在菲索型波长移相干涉仪中进行移相采样,分别得到放置待测平行平板和空腔下的干涉图;其次,根据实际目标要求得到移相算法的特征图并写出其特征多项式,然后利用Taylor公式展开得到算法...
该专利属于南京理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过南京理工大学授权不得商用。
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