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一种柔性电容式压力传感器和柔性电容式压力阵列传感器制造技术
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文档序号:25344365
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本发明提供一种柔性电容式压力传感器及柔性电容式压力阵列传感器,涉及传感器技术领域。柔性电容式压力传感器包括依次设置的上柔性基底、上电极、上绝缘胶层、压力敏感层、下绝缘胶层、下电极和下柔性基底。上柔性基底和下柔性基底为蚕丝膜或蚕丝/聚氨酯复合...
该专利属于厦门大学所有,仅供学习研究参考,未经过厦门大学授权不得商用。
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