下载一种超结构表面耦合横向热电薄膜的光探测器及制作方法的技术资料

文档序号:25344336

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本发明公开了一种超结构表面耦合横向热电薄膜的光探测器,所述横向热电薄膜外延地生长在所述斜切衬底表面;所述第一电极与所述第二电极分别设置在所述横向热电薄膜表面沿斜切衬底方向两端;所述具有超结构表面的红外吸收器设置在所述第一电极与所述第二电极之...
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