温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
一种大尺寸高纯度石英玻璃的化学沉积工艺，包括如下步骤：（1）准备：在立式沉积炉内放置靶料，然后以有机硅八甲基环四硅氧烷为原料，经过精馏提纯后进入蒸发器；（2）沉积：所述有机硅八甲基环四硅氧烷蒸气在燃烧器火焰中热水解生成二氧化硅颗粒，并在立式...该专利属于新沂市东方石英玻璃有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过新沂市东方石英玻璃有限公司授权不得商用。
温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
一种大尺寸高纯度石英玻璃的化学沉积工艺，包括如下步骤：（1）准备：在立式沉积炉内放置靶料，然后以有机硅八甲基环四硅氧烷为原料，经过精馏提纯后进入蒸发器；（2）沉积：所述有机硅八甲基环四硅氧烷蒸气在燃烧器火焰中热水解生成二氧化硅颗粒，并在立式...