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具有热电偶的流量传感器制造技术
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下载具有热电偶的流量传感器的技术资料
文档序号:2534031
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一种用于测量流体流量的器件,包括: 衬底(1), 安置在所述衬底(1)上的加热器(4), 至少一个第一和一个第二检测热电堆(6a、6b),用于测量所述加热器(4)上游位置和下游位置之间的温度差并用于生成检测信号(△T),该...
该专利属于森斯瑞股份公司所有,仅供学习研究参考,未经过森斯瑞股份公司授权不得商用。
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