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一种用于测量流体流量的器件，包括：　　　　衬底（１），　　　　安置在所述衬底（１）上的加热器（４），　　　　至少一个第一和一个第二检测热电堆（６ａ、６ｂ），用于测量所述加热器（４）上游位置和下游位置之间的温度差并用于生成检测信号（△Ｔ），该...
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