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一种消除器件和振动盘圆盘静电的装置,包括底板,在所述底板的上底面上设有向上的凸起,所述凸起的圆周通过弧面与所述底板圆周过渡连接构成中间高边沿低的回旋体;在所述底板的下底面上设有可与外置的离子风源相连接的环形槽,在所述底板的圆周侧面上设有若干...该专利属于深圳市晶展鑫电子设备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市晶展鑫电子设备有限公司授权不得商用。
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一种消除器件和振动盘圆盘静电的装置,包括底板,在所述底板的上底面上设有向上的凸起,所述凸起的圆周通过弧面与所述底板圆周过渡连接构成中间高边沿低的回旋体;在所述底板的下底面上设有可与外置的离子风源相连接的环形槽,在所述底板的圆周侧面上设有若干...