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本发明公开了一种针对ＭＥＭＳ器件微流量流速检测中寄生电容干扰信号的抑制方法是将压电上电极与驱动电源正极相连，压电下电极与驱动电源接地负极相连，可基本避免Ｓｉ－Ｐｔ寄生电容的形成。在实施例中采用本发明所述寄生电容抑制方法连接屏蔽寄生电容后检测...
该专利属于上海电力学院所有，仅供学习研究参考，未经过上海电力学院授权不得商用。

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