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一种适用于机械手操作的推盖式VPI设备制造技术
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文档序号:25334228
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本实用新型公开一种适用于机械手操作的推盖式VPI设备,涉及电机生产技术领域,包括框架、固定于框架底部的罐体和配设于罐体顶部的罐盖,罐盖通过平移驱动组件安装于框架的顶部,当罐盖相对罐体处于脱开状态时,平移驱动组件能够同时驱动罐盖相对罐体作平移...
该专利属于沈阳维科真空技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过沈阳维科真空技术有限公司授权不得商用。
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