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本实用新型提供了一种传感器的防水罩，传感器可发出光探测信号探测研磨晶圆是否有滑片，该防水罩包括罩体和罩帽，罩体套在传感器上，罩帽盖在罩体上封闭罩体顶部。罩体在对着传感器发出光探测信号的位置开有敞孔。本实用新型的传感器的防水罩通过罩在研磨机台...
该专利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造(上海)有限公司授权不得商用。

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