温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本申请提供一种用于检测承载硅片花篮的检具，属于机械制造技术领域。检具包括：两个检测单元，各个检测单元上均设有检测部，检测部用于检测硅片承载花篮上的对应的定位槽组；可调连接件，其连接两个检测单元，且通过可调节连接件能够对检测部两个检测部之间的...
该专利属于楚雄隆基硅材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过楚雄隆基硅材料有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。