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石英谐振式力传感器制造技术
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文档序号:2532072
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一种石英谐振式力传感器,卡固槽开设在双孔梁受力应变部位的上盖下,石英振子卡固在卡固槽内,其下方设固定支架,固定支架固接在卡固槽底部,石英振子上引出两电极。卡固槽的边从上到下沿竖直方向截面为向内有一定斜度的梯形,水平方向垂直,在卡固槽内的石英...
该专利属于陈玉鹏所有,仅供学习研究参考,未经过陈玉鹏授权不得商用。
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