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复合型高精度二维坐标零位标识系统技术方案
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文档序号:2531904
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复合型高精度二维坐标零位标识系统,系统组成包括定光栅、光源、指示光栅和信号接收器;其特点是光源、指示光栅和信号接收器构成刚性光学探测系统与二维工作台上的移动台固联,定光栅与二维工作台的底座固联,保持位置恒定;定光栅是由两个一维零位光栅以其轴...
该专利属于合肥工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过合肥工业大学授权不得商用。
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