下载选通器件及其制备方法的技术资料

文档序号:25312635

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本申请提供一种选通器件及其制备方法,涉及微纳电子器件技术领域。该选通器件包括从下到上依次设置在衬底上的下电极、第一绝缘层、第二绝缘层以及上电极;其中,下电极为惰性电极,上电极为活性电极,第一绝缘层的金属离子迁移率小于第二绝缘层的金属离子迁移...
该专利属于中国人民解放军国防科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过中国人民解放军国防科技大学授权不得商用。

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