下载基于复合介质栅结构的光敏探测单元、探测器及其方法的技术资料

文档序号:25312410

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本发明公开一种基于复合介质栅结构的光敏探测单元、探测器及其方法。其光敏探测单元包括具有感光功能的复合介质栅MOS‑C部分、具有读取信息功能的复合介质栅MOSFET部分以及具有复位功能的复位管部分,复位管部分包括在P型半导体衬底上方依次叠设的...
该专利属于南京大学所有,仅供学习研究参考,未经过南京大学授权不得商用。

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