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光波导可包括硅部分和位于硅部分上方的氮化硅部分。硅部分可包括减小硅部分的宽度的锥部。光波导可包括在加载单模或多模波导到单模波导之间的过渡。氮化硅部分可将行进通过光波导的光信号限制在硅部分中。...
该专利属于菲尼萨公司所有，仅供学习研究参考，未经过菲尼萨公司授权不得商用。

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