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一种用于扫描隧道显微镜的步进电机的容性定位传感器，其特征在于，该传感器为至少一个平板型电容器，所述至少一个的电容器包括平行布置的第一极板和第二极板，第一极板和第二极板之间可相对平行移动；所述至少一个电容器的第一极板和第二极板之间的平行移动引...
该专利属于中国科学院物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院物理研究所授权不得商用。

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