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一种高熵合金组合物、高熵合金薄膜及高熵合金靶材和薄膜的制备方法技术
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文档序号:25301906
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本发明实施例公开了一种高熵合金组合物、高熵合金薄膜及高熵合金靶材和薄膜的制备方法,组合物包括Al、Cr、Ti、Gd和Zr;薄膜为通过组合物经真空熔炼和磁控溅射制得。本发明的实施方式具有如下优点:1、特定的原料种类之间的协同配合使最终得到的高...
该专利属于中国科学院力学研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院力学研究所授权不得商用。
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