下载静电电容式传感器的技术资料

文档序号:2529209

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本发明涉及静电电容式传感器,使其具有安装自由度等,同时不必校正由平衡锤引起的活动部向垂直方向的位移,即可根据静电电容的变化而检测出传感器的倾斜和加速度等。该传感器具有:固定基板(1),它形成固定电极(1a);活动部(3d),它具有活动电极,...
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