下载全像图图案转移装置的技术资料

文档序号:25287781

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本实用新型有关于一种全像图图案转移装置包括一工作载台、一圆柱形金属滚轮、一光阻喷淋模块、一微影制作模块以及一电化学加工蚀刻模块。工作载台具有第一致动构件。圆柱形金属滚轮水平设置于工作载台的上方且第一致动构件用以转动圆柱形金属滚轮。光阻喷淋模...
该专利属于光群雷射科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过光群雷射科技股份有限公司授权不得商用。

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