下载一种高精度二维小角度测量方法的技术资料

文档序号:2528728

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本发明公开了一种高精度二维小角度测量方法,属于光学非接触二维小角度测量技术。采用二维小角度测量装置实现角度测量方法,其特征在于采用分光光路设计将被测物体反射的带有被测二维角度信息的光分成相互正交的两束,分别带有绕Z、X轴的转角信息进入XY、...
该专利属于天津大学所有,仅供学习研究参考,未经过天津大学授权不得商用。

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