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位置测量装置,具有 一个测量标尺(1),所述测量标尺(1)具有一个可以进行光电扫描的刻度(3); 一个扫描头(2),具有一个光源(4)和一个检测器(5),在光路(L)中,该测量标尺(1)被布置在光源(4)和检测器(5)之间并且所...该专利属于约翰尼斯海登海恩博士股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过约翰尼斯海登海恩博士股份有限公司授权不得商用。
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