下载一种位置检测信号的细分装置的技术资料

文档序号:2528131

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本发明公开了一种位置检测信号的细分装置,包括线光源激光器、光靶、CCD、信号处理器和二个光学扫描振镜;二个振镜的转动轴在同一平面内平行放置,其反射面相对放置,法线方向与两光学扫描振镜转动轴所在平面成45°角;线光源激光器的线状出射激光束垂直...
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