温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
一种相变存储器的形成方法,包括:提供衬底,所述衬底表面形成有底电极;形成覆盖所述底电极表面的第一介电层;在所述第一介电层内形成位于所述底电极上方的第一开口;在所述第一开口内填充牺牲层,所述牺牲层内形成有孔洞;刻蚀所述牺牲层,至所述孔洞的顶部...该专利属于江苏时代全芯存储科技股份有限公司;江苏时代芯存半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏时代全芯存储科技股份有限公司;江苏时代芯存半导体有限公司授权不得商用。