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本发明公开了一种分时复用三轴加速度计及其控制方法，本发明包括X、Y、Z三个轴向的敏感结构、电容/数字转换前端电路、ΔΣ调制器后级电路、高压驱动反馈电路和比例积分控制电路；其中，X、Y、Z三个轴向的敏感结构的上下极板均接入2相时钟信号。本发明...
该专利属于四川知微传感技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过四川知微传感技术有限公司授权不得商用。

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