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位置检测方法和装置、控制和制造方法、机器人装置、光学设备制造方法及图纸
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文档序号:25266905
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本发明提供位置检测方法和装置、控制和制造方法、机器人装置、光学设备。所述位置检测方法包括:获得反复地改变第一循环数的第一信号的第一相位值、反复地改变比所述第一循环数大的第二循环数的第二信号的第二相位值、以及反复地改变比所述第二循环数大的第三...
该专利属于佳能株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过佳能株式会社授权不得商用。
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