下载精准控制的精密真空气氛热处理炉的技术资料

文档序号:25266428

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本发明公开了一种精准控制的精密真空气氛热处理炉包括真空系统与PLC控制单元;所述的真空系统包括真空室(1)与真空机组(15),所述的PLC控制单元包括PLC中央处理器、温控模块、真空检测模块、流量检测模块、输入输出模块、A/D转换模块、D/...
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