下载用于硅片的毛刷辊双面清洗装置的技术资料

文档序号:25263226

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本申请公开了一种用于硅片的毛刷辊双面清洗装置,包括机架以及水平设置在机架内的第一皮带和第二皮带,所述第一皮带的尾部与第二皮带的头部上下交错衔接,所述第二皮带设置在第一皮带上方,所述第一皮带的正上方以及第二皮带的正下方还设有毛刷辊组件,每个所...
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