下载一种多晶硅破碎装置及破碎方法的技术资料

文档序号:25254701

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本发明公开了一种多晶硅破碎装置及破碎方法,包括液态二氧化碳高压腔体,用于储存液态二氧化碳,并将腔体内液态二氧化碳转化为高压气体二氧化碳;多晶硅破碎室,用于储存破碎前的棒状多晶硅和破碎后的多晶硅碎片;气体脉冲破碎器,其一端与液态二氧化碳高压腔...
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